Magnetron sputtering txheej yog txheej txheem tshiab lub cev vapor txheej. Nws siv cov ions uas tsim los ntawm ion qhov chaw los ua kom lub zog sib sau ua ke hauv lub tshuab nqus tsev los tsim lub zog ceev ceev ion beam, uas ua rau cov khoom tawg. Cov ions pauv kinetic zog nrog cov atoms ntawm cov khoom nto kom cov atoms ntawm cov khoom nto tawm cov khoom thiab tso rau ntawm lub substrate nto. Lub foob pob tawg yog cov khoom siv raw rau kev npaj cov zaj duab xis sputtering deposition, uas yog hu ua lub hom phiaj sputtering. Nyob rau hauv luv luv, ib tug electron phom system yog siv los emit thiab tsom electrons ntawm cov khoom noj, ua rau lub sputtered atoms ua raws li lub zog hloov lub hauv paus ntsiab lus thiab detach los ntawm cov khoom uas muaj siab kinetic zog ya mus rau lub substrate thiab tso rau hauv ib zaj duab xis. Cov khoom siv no yog hu ua sputtering target material. Raws li cov cuab yeej paub tab uas tau tsim, Magnetron sputtering tau siv rau ntau qhov chaw. Piv nrog rau txoj kev evaporation txheej, nws muaj qhov pom tseeb zoo hauv ntau yam. Ntau hom sputtering lub hom phiaj tau dav siv nyob rau hauv semiconductor integrated circuits, hnub ci photovoltaic, kaw xov xwm, planar qhia thiab workpiece nto coatings.
Sputtering lub hom phiaj yog tsim los ntawm lub hom phiaj dawb paug, rov qab phaj thiab lwm qhov chaw, lub hom phiaj dawb paug yog lub hom phiaj cov khoom tawg los ntawm kev kub ceev ion beam, thiab belongs rau qhov tseem ceeb ntawm sputtering lub hom phiaj, nyob rau hauv tus txheej txheem ntawm sputtering txheej, lub hom phiaj dawb paug yog ntaus los ntawm ions, nws cov atoms nto yog sputtered tawm thiab tso rau ntawm lub substrate los ua hluav taws xob nyias zaj duab xis; vim tias tsis tshua muaj zog ntawm cov hlau purity siab, thiab sputtering lub hom phiaj yuav tsum tau muab tso rau hauv lub tshuab tshwj xeeb kom ua tiav cov txheej txheem sputtering, sab hauv ntawm lub tshuab yog lub zog siab, lub tshuab nqus tsev siab. Yog li ntawd, lub hom phiaj sputtering blanks ntawm ultra-high purity hlau yuav tsum tau koom nrog lub nraub qaum los ntawm cov txheej txheem vuam sib txawv, thiab lub nraub qaum plays lub luag haujlwm ntawm kev kho lub hom phiaj sputtering thiab xav tau kom muaj cov khoom zoo thiab thermal conductivity.
Muaj ntau hom sputtering lub hom phiaj, txawm tias tib yam khoom siv sputtering lub hom phiaj muaj qhov sib txawv. Raws li cov txheej txheem kev faib tawm sib txawv, sputtering lub hom phiaj tuaj yeem muab faib ua ntau pawg, thiab cov kev faib tseem ceeb yog raws li hauv qab no:
Kev faib tawm los ntawm cov duab
Lub hom phiaj ntev
Square phiaj
Round phiaj, raj phiaj
Classification los ntawm cov tshuaj muaj pes tsawg leeg
Hlau phiaj
Alloy phiaj
Ceramic Compound Target
Classification los ntawm daim ntawv thov teb
Semiconductor nti hom phiaj, vaj huam sib luag lub hom phiaj, lub hom phiaj ntawm lub hnub ci, cov ntaub ntawv khaws cia lub hom phiaj, lub hom phiaj kev hloov kho, cov hom phiaj siv hluav taws xob, cov hom phiaj kho kom zoo nkauj xim, thiab lwm yam.
Tsawg impurity cov ntsiab lus
Smooth nto
Precise size kam rau ua
High ceev
Cov ntsiab lus roj tsawg
Uniform internal qauv
Cov neeg siv khoom xa RFQ los ntawm email
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- Dimension
- Ntau
- Kev kos duab
Teb hauv 24 teev los ntawm email
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